ハイブリッドホモジナイザー

　波長の違う2種類のレーザをそれぞれホモジナイズしながら、同軸上かつ同焦点に同サイズで結像する光学系です。

　2種類のレーザ波長を利用したハイブリットシステムにおいて、2種類のレーザをそれぞれホモジナイザーで強度を均一化しながら同軸上にカップリングし、最終段の対物レンズを共用させることで、同軸同焦点にビームを結像する光学系です。

　本ハイブリッドホモジナイザーによって、1μmレーザに対して反射率の高いシリコンやアルミ等の材料においても、0.8µｍのダイレクトレーザや532nmのグリーンレーザや445nmのブルーレーザを補助加熱として利用することで基本波の熱影響を抑えて溶け込み深さを改善することが可能になります。また、均一に照射するのでタクトタイムを大幅に短縮させることができます。